TaC-kovrita LED-epi-susceptoro

TaC-kovrita LED-epi-susceptoro uzas altpurecan tantalan karbidan (TaC) tegaĵan teknologion, kiu estas speciale desegnita por MOCVD (metala organika kemia vapora deponado) ekipaĵo kaj taŭgas por alttemperatura deponada procezo de LED-epitaksaj oblatetoj. La produkto havas bonegan alttemperaturan reziston, korodreziston kaj termikan stabilecon, kiuj povas signife redukti poluadon kaj partiklan disĵetadon, kaj plilongigi la servodaŭron. Ĝi estas ideala elekto por plibonigi la rendimenton kaj produktadan efikecon de LED-epitaksaj oblatetoj.

apliko:

TaC-kovrita LED-epi-susceptoro estas speciale desegnita por MOCVD-ekipaĵo kaj estas ĉefe uzata en LED-epitaksa produktado de oblatetoj, precipe por la epitaksa kresko de galiumnitridaj (GaN)-bazitaj bluaj kaj ultraviolaj LED-oj. Ĝi ankaŭ povas plenumi la fabrikadajn bezonojn de SiC/GaN-potencaj duonkonduktaĵaj aparatoj kaj taŭgas por alttemperaturaj CVD, MBE kaj aliaj materialaj deponaj eksperimentoj en sciencaj esplorinstitutoj.

Servoj, kiujn oni povas provizi:

analizo de klientaj aplikaĵscenaroj, kongruigo de materialoj, solvado de teknikaj problemoj.

Kompanio Profilo:

Semixlab havas 2 laboratoriojn, teamon de fakuloj kun 20 jaroj da sperto pri materialoj, kun kapabloj pri esplorado kaj disvolvado kaj produktado, testado kaj konfirmado.

Teknikaj Parametroj

Ĉefaj aplikaj kampoj

Ekologia ĉena konfirmo-aprobo

La ekologia ĉenkontrolo de la Semixlab TaC-kovrita LED-epi-susceptoro kovras krudmaterialojn ĝis produktado, pasis internacian norman atestadon, kaj havas kelkajn patentitajn teknologiojn por certigi ĝian fidindecon kaj daŭripovon en la kampoj de duonkonduktaĵoj kaj novaj energioj.

Tipa aplikaĵa procezo

Preparado de Krudmaterialo (Inspektado de Alt-pureca grafito) → Fabrikado de Substrato (Izostata premado) → Tegaĵa Procezo de TaC (CVD-demetado) → Post-Prilaborado (Preciza polurado) → Kvalit-Inspektado → Pakado kaj Liverado

Ĉar LED-teknologio evoluas al pli malgrandaj grandecoj kaj pli alta precizeco, kiel ekzemple Mini LED kaj Mikro LED, la postuloj pri stabileco kaj procezkontrolo de MOCVD-ekipaĵo fariĝas ĉiam pli altaj. La antaŭenigo de TaC-kovritaj LED-epi-susceptoroj povas ne nur plibonigi la efikecon de ekzistanta LED-produktado, sed ankaŭ provizi pli fidindan fabrikadan fundamenton por la sekva generacio de ekranteknologio.

Por detalaj teknikaj specifoj, blankaj libroj, aŭ aranĝoj pri specimenaj testadoj, bonvolu kontakti nian Teknikan Subtenan Teamon por esplori kiel Semixlab povas plibonigi vian procesefikecon.

Avantaĝoj de la kerno de la epi-susceptor-kovrita LED de Semixlab TaC

Super-alta temperaturrezisto

TaC-kovritaj LED-epitaksaj susceptoroj estas faritaj el altpureca tantala karbida materialo, kiu povas funkcii stabile dum longa tempo en alttemperaturaj medioj super 1200 °C. Eĉ sub la ekstremaj temperaturkondiĉoj de la MOCVD-procezo, la tegaĵo ne fendiĝos aŭ senŝeliĝos, certigante la unuformecon kaj konsistencon de la epitaksa kreskoprocezo kaj efike plibonigante la produktorendimenton.

Bonega koroda rezisto

Dum la fabrikada procezo de LED-epitaksaj oblato, la susceptoro devas esti eksponita al korodaj gasaj medioj kiel H2 kaj NH3 dum longa tempo. TaC-tegaĵo havas ekstreme fortan kemian inertecon kaj povas efike rezisti gaserozion kaj eviti malpuraĵojn generitajn per oksidado aŭ reakcio, tiel certigante la purecon kaj optoelektronikan funkciadon de la epipitaksaj oblato.

Malalta termika deformado

La termika ekspansiokoeficiento de la TaC-tegaĵo estas tre kongrua kun tiu de la grafita substrato, kaj la susceptoro povas konservi ekstreme malaltan termikan deformadrapidecon eĉ dum rapidaj temperaturplialtiĝoj kaj malaltiĝoj. Ĉi tiu trajto povas multe redukti la riskon de epitaksa misformiĝo de la oblikvaĵo, certigi unuforman kreskon de la epitaksa tavolo, kaj plibonigi la produktokonsistencon.

Alta surfaca finaĵo

La surfaco de la susceptoro estas precize polurita, kun krudeco kontrolita sub 0.5μm, efike reduktante la difektoftecon dum epitaksia kresko. La glata surfaco ankaŭ povas redukti la adheron inter la epitaksia oblato kaj la susceptoro, faciligante la forigon de la oblato kaj reduktante la riskon de rompiĝo de la oblato.

Longa vivo-desegno

Kompare kun tradiciaj grafitaj susceptoroj, TaC-tegaĵo havas pli bonan eluziĝreziston kaj korodreziston, kaj ĝia funkcidaŭro povas esti plilongigita je pli ol 3-oble. Tio ne nur reduktas la oftecon de konsumebla anstataŭigo, sed ankaŭ reduktas procezajn fluktuojn kaŭzitajn de maljuniĝo de la susceptoro, kio povas signife redukti produktokostojn longtempe.