Kvarcaj Partoj

Kvarco ankoraŭ estas ĉie en la prilaborado de duonkonduktaĵoj. Ĝi ne estas nova, sed ĝi estas fidinda, kaj plej multaj fabrikoj konas ĝian konduton. Kondiĉe ke pureco estas kontrolita, ĝi bone funkcias en difuzaj, oksidaj kaj purigaj paŝoj.

Multaj kvarcaj partoj estas uzataj en fornsistemoj aŭ PECVD-iloj. La ĉefa atendo estas stabileco — ne nepre longa vivdaŭro, sed antaŭvidebla funkciado. Tio kutime sufiĉas por multaj normaj procezoj.

Kompreneble, kvarco ja havas siajn limojn. Ĝi povas pli rapide eluziĝi sub certaj kondiĉoj, precipe kompare kun SiC. Sed ĉar ĝi estas relative facile trovebla kaj ne tro multekosta, homoj ankoraŭ uzas ĝin sufiĉe multe.