Piroliza Grafito (PG) Tegaĵo

PyC-tegaĵo estas plejparte uzata en SiC-kristalaj kreskosistemoj, precipe en PVT-fornoj. Ne vere temas pri puŝi temperaturlimojn, sed pli pri plibonigi la konduton de grafitaj partoj laŭlonge de la tempo.

La tegaĵo formas relative unuforman tavolon sur komponantoj kiel fluogvidilaj ringoj aŭ izolaj strukturoj. Tio helpas redukti gaspenetradon kaj limigas karbonrilatan poluadon, kiu alie povus influi la kreskomedion.

En fakta uzo, PyC-kovritaj fluogvidilaj ringoj estas probable la plej oftaj, sed la sama ideo validas por subtenaj ringoj aŭ termikaj ŝildoj. Por multaj uzantoj, la celo ĉi tie estas simpla — teni la sistemon stabila dum longaj cikloj, anstataŭ persekuti pli altan temperaturkapablon.