Alta pureca kvarca oblato boato

La altpureca kvarca sigelo estas farita el sinteza kvarca sablo per arka fandadprocezo, kiu havas tre malaltan termikan ekspansian koeficienton kaj bonegan termikan ŝokreziston por certigi, ke ne ekzistas risko de deformado aŭ fendado dum la rapida leviĝo kaj falo. La surfaco estas precize polurita por redukti partiklan poluadon, taŭga por la severa kaj pura medio en duonkonduktaĵa fabrikado. La produkto subtenas personigitajn grandecojn (longo 100-500mm, nombro de fendoj 2-24) kaj adaptiĝas al diversaj sigeloj (4"-12").

1. Kernaj materialaj karakterizaĵoj

Arka fandprocezo de sinteza kvarca sablo

Uzante ultra-purecan kvarcan sablon (SiO₂-pureco ≥99.999%), amorfa kvarcvitra strukturo estas formita per arka fandadoteknologio. Ĉi tiu procezo forigas grenlimajn difektojn, signife plibonigas materialan homogenecon, kaj certigas, ke la oblikvaj ŝipoj restas stabilaj je altaj temperaturoj (≤1250 °C).

Ultra malalta koeficiento de termika ekspansio

La termika ekspansiofaktoro estas tiel malalta kiel 5.5×10^-7K^-1(20-300 °C), permesante preskaŭ neniun ŝanĝon de grandeco dum rapida temperaturpliiĝo kaj malaltiĝo (ekz., 200 °C/min en duonkonduktaĵaj procezoj), evitante mikrofendojn aŭ deformadon pro termika streso.

Optimigo de termika ŝokrezisto

Per la gradienta kalcinada procezo, la temperaturdiferenco de termika ŝoko povas atingi 1200℃ → ĉambra temperaturo dum pli ol 100 cikloj sen fendetiĝado, plenumante la striktajn postulojn de jona implantado, rapida kalcinado kaj aliaj procezoj.

2. Preciza maŝinado kaj surfaca traktado

Nanoskala polurteknologio

La surfaca malglateco estas kontrolita je Ra≤0.2μm, kaj kemia mekanika polurado (CMP) kombinita kun plasma akraforto estas uzata por efike redukti la adsorbadon de partikloj, kaj la pureco konformas al la normo SEMI F47 (partikla nombro ≤10 /[retpoŝte protektita]μm).

Kontraŭŝlima tegaĵo (laŭvola)

La surfaco-tegaĵo el silicia karbido aŭ silicia nitrido povas esti adaptita por redukti la frotokoeficienton de la kontakta surfaco de la silicia plato (μ≤0.05), reduktante la riskon de gratvundoj kaj migrado de metaljonoj.

Rapida Detalo:

1. Aliaj nomoj: Kvarca boato, vafla krampo.

2. Apliko: Portado kaj transdono en alttemperatura procezo de duonkondukta oblato, taŭga por difuzo, oksidado kaj aliaj procezoj.

3. Kernaj parametroj: pureco ≥99.99%, maksimuma temperaturrezisto 1200℃, termika ekspansiokoeficiento 5.5×10^-7/℃.

1. Prilaborado de duonkonduktaĵaj obleoj (difuza forno, oksidiga forno).

2. Fotovoltaeca industrio siliciaj oblatetoj-prilaborado.

3. Laboratoria alttemperatura eksperimenta oblata birado.

Pureco gvida en la industrio, enhavo de metalaj malpuraĵoj <1ppm.

Longa servodaŭro (≥500 altaj temperaturcikloj).

Subtenu nenorman personigon, mallongan liverciklon.