Kvarca oblata boatportilo

Kvarca ŝipa subtenilo de Semixlab estas alt-efikeca porta ilo desegnita por la duonkonduktaĵaj, fotovoltaikaj, LED-aj kaj precizaj elektronikaj industrioj. Ĝi estas farita el alt-pureca sinteza kvarca materialo. Kiel kernaj konsumaĵoj en alt-temperaturaj procezoj, kvarcaj ŝipa subteniloj fariĝis la idealaj portantoj por oblatoj, siliciaj oblatoj, vitraj substratoj kaj aliaj precizaj komponantoj en difuzo, kalcinado, oksidado, CVD (kemia vapora deponado) kaj aliaj procezoj pro sia bonega termika stabileco, kemia inerteco kaj ultra-longa servodaŭro, helpante klientojn atingi efikajn kaj stabilajn produktadajn procezojn.

Aplikaj scenaroj aŭ ekipaĵoj: 

Difuzo de duonkonduktaĵoj, kalcinado, oksidado, kaj CVD (kemia vapora deponado) procezo.

Kompanio Forto

Semixlab Technology Co., Ltd havas 2 esplorcentrojn, 2 produktadbazojn, 12 produktadliniojn, pli ol 150 dungitojn, kaj investoj en esplorcentro konsistigas pli ol 30%. Nia produkta aranĝo estas ĉefe uzata en LED-oj, integraj cirkvitoj, triageneraciaj duonkonduktaĵoj, fotovoltaikaj kaj aliaj industrioj. Semixlab havas fortajn kapablojn pri esplorado kaj disvolvado, produktado kaj integra testado kaj konfirmado. Samtempe, ni konstante plibonigas nian teknologion kaj ekipaĵon per investo de dekoj da milionoj jare.

Agorditaj servoj

Por plenumi diversajn bezonojn, ni provizas flekseblajn adaptigajn servojn kaj subtenas la jenajn parametro-alĝustigojn:

Grandecaj specifoj: Adaptiĝu al malsamaj substratoj kiel 8 coloj kaj 12 coloj, aŭ personigu specialformajn strukturojn laŭ klientaj desegnaĵoj.

Surfaca traktado: Laŭvola sabloblovado, tegaĵo (kiel ekzemple siliciokarbida tegaĵo) kaj aliaj procezoj por plibonigi aplikeblecon en specifaj scenaroj.

Integriĝo de akcesoraĵoj: Povas esti kongruigita kun kvarcaj kolonoj, deflektoroj kaj aliaj komponantoj por formi kompletan portan sistemon.

Kvalita certiga sistemo

Testado de krudmaterialo: Importita altpureca kvarca sablo, analizita per ICP-MS (indukte kuplita plasma masspektrometrio).

Procesregado: CNC-preciza maŝinado + aŭtomatigita testado, ŝlosila dimensio-toleremo ≤±0.05mm.

Pura pakado: Klaso 100 ultra-pura media pakado por eviti transportan poluadon.

Tipaj aplikaj scenaroj

Fabrikado de duonkonduktaĵoj: uzata por alt-temperatura kalcinado, oksidado kaj maldikaj filmaj deponadprocezoj de oblatoj en difuzaj fornoj kaj vertikalaj fornoj.

Fotovoltaika industrio: Portado kaj dissendo de PERC kaj TOPCon-ĉeloj en PECVD, fosfora difuzo kaj aliaj procezoj.

LED-epitaksio: Preciza poziciigado kaj alt-temperatura epitaksa kresko de safiraj substratoj en MOCVD-ekipaĵo.

Esplorkampo: Materiala sintrado kaj testado en laboratoriaj alttemperaturaj fornoj kaj vakuaj medioj.

1. Bonega alta temperatura rezisto

La kvarca ŝipa subteno povas elteni altajn temperaturojn super 1200℃ dum longa tempo, kun ekstreme malalta termika ekspansia koeficiento (ĉirkaŭ 5.5×10⁻⁷/℃). Ĝi tamen povas konservi strukturan stabilecon sub rapidaj malvarmiĝaj kaj varmiĝaj kondiĉoj, evitante fendetojn aŭ deformaĵojn kaŭzitajn de termika streso, kaj certigante ripeteblecon de la procezo.

2. Ultra-alta pureco kaj kemia inerteco

Farita el 99.99% aŭ pli da altpureca kvarca sablo, sen precipitaĵo, sen poluado, efike malhelpas metaljonojn aŭ partiklajn malpuraĵojn polui la surfacon de la obleto je alta temperaturo, aparte taŭga por progresintaj procezoj kun striktaj purecaj postuloj (kiel ekzemple icofabrikado sub 7nm).

3. Preciza struktura dezajno

La surfaco de la boatsubteno estas polurita kun alta precizeco (malglateco Ra≤0.2μm), ekipita per patentita fendostrukturo, kiu povas stabile porti substratojn de diversaj grandecoj (kiel ekzemple 8/12-colaj oblatoj), certigante unuforman hejtadon kaj gascirkuladon, kaj plibonigante procezan homogenecon.

4. Ultra-longa serva vivo

Kompare kun tradiciaj grafitaj aŭ ceramikaj portantoj, kvarcaj materialoj havas fortan korodreziston, malaltan perdoftecon en acidaj/alkalaj atmosferoj, kaj kontinuan uzciklon povas atingi 12-24 monatojn, signife reduktante la ampleksajn kostojn por klientoj.