EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Liner Quartz Upper Gas Dist
La AMAT Liner Qtz Upper Gas Dist estas precize realigita kvarca komponanto uzata en duonkonduktaĵaj plasmo-prilaboraj ekipaĵoj. Dizajnita kiel parto de la supra ĉambra asembleo, ĉi tiu komponanto integras kaj ĉambran protekton (tegaĵon) kaj gasdistribuan funkcion, igante ĝin esenca por konservi stabilajn kaj unuformajn prilaborajn kondiĉojn. La 0200-09445 kvarca tegaĵo estas realigita por alta pureco, precizeco kaj daŭreco, certigante fidindan funkciadon en postulemaj plasmaj medioj.
Priskribo
Produkta Superrigardo
La AMAT 0200-09445 Liner Qtz Upper Gas Dist estas instalita en la supra regiono de duonkonduktaĵaj procezĉambroj, tipe en sistemoj uzataj por gravurado aŭ kemia vapora deponado (CVD) procezoj.
Ŝlosila Produkta Informo
| objekton | Priskribo |
| produkto Nomo | Liner Qtz Supra Gasa Distribuo |
| parto Nombro | 0200-09445 |
| materialo | Altpureca fandita kvarco |
| Komponenta Tipo | Kamera Subŝtofo / Gasa Distribua Komponanto |
| Apliko | Gravurado / CVD / Plasmo-Prilaborado |
| Instala Pozicio | Supra Kamera Regiono |
| provizanto | Semixlab |
Ĉi tiu komponanto estas parto de pli larĝa gasdistribua kaj kamera tegaĵsistemo, funkciante kune kun pli malaltaj tegaĵoj kaj gasdistribuaj platoj por certigi koherajn procezajn kondiĉojn.
La 0200-09445 ne estas simpla kvarca ringo aŭ tegaĵo — ĝi estas hibrida funkcia komponanto, kiu kombinas du kritikajn rolojn ene de la proceza ĉambro:
Kvarca Tegaĵo (Kamera Protekta Tavolo)
Kiel tegaĵo, ĝi agas kiel protekta bariero inter la plasmomedio kaj la metalaj surfacoj de la ĉambro. Ĝi absorbas deponaĵon, malhelpas poluadon, kaj plilongigas la servodaŭron de la ĉambro.
Supra Gasa Distribua Komponanto
Samtempe, ĝi estas desegnita por subteni kaj gvidi la fluon de proceza gaso en la supra ĉambra regiono. Kunlaborante kun gasplatoj aŭ duŝkapoj, ĝi helpas distribui gasojn egale tra la oblato.
Materialo kaj Ŝlosilaj Karakterizaĵoj
La AMAT 0200-09445-tegaĵo estas fabrikita el duonkonduktaĵ-kvalita fandita kvarco (SiO₂), materialo vaste uzata por plasmo-eksponitaj komponantoj pro sia escepta funkciado.
Ŝlosilaj Materialaj Karakterizaĵoj
Ultra-Alta Pureco: La uzata kvarco enhavas ekstreme malaltajn nivelojn de metalaj malpuraĵoj, reduktante poluadriskojn kaj subtenante progresintajn normojn por semikonduktaĵa fabrikado.
Bonega Plasmorezisto: Fandita kvarco eltenas jonbombadon kaj reaktivajn plasmajn mediojn, igante ĝin taŭga por longdaŭra uzo en gravuraj kaj CVD-procezoj.
Supera Termika Stabileco: La materialo konservas strukturan integrecon sub altaj temperaturoj kaj termikaj cikladoj, certigante konstantan rendimenton laŭlonge de la tempo.
Kemia Inerteco: Kvarco rezistas korodon de reaktivaj gasoj kiel ekzemple fluoro- kaj kloro-bazitaj kemiaĵoj ofte uzataj en duonkonduktaĵaj procezoj.
Elektra izolado: Kiel nekonduktiva materialo, kvarco helpas konservi stabilajn elektrajn kampojn kaj kontribuas al unuforma plasmodistribuo.
Ĉi tiuj ecoj faras kvarcon ideala materialo por komponantoj kombinantaj gasfluoregadon kaj plasmoeksponiĝon.
aplikaĵoj
Funkcio Ene de Duonkondukta Ekipaĵo
La 0200-09445 Kvarca Supra Gasa Distribua Tegaĵo ludas plurajn kritikajn rolojn ene de duonkonduktaĵaj procezĉambroj, rekte influante la procezkvaliton kaj ekipaĵfidindecon.
Optimigo de Gasdistribuo
La komponanto helpas gvidi kaj distribui procezajn gasojn tra la ĉambro, certigante:
● Unuforma gasfluo
● Konstanta reakcia distribuo
● Stabilaj prilaboraj kondiĉoj
Ĉi tio estas esenca por atingi unuformajn gravurajn rapidecojn aŭ filmdemeton trans la oblata surfaco.
Ĉambra Protekto
Kiel ofertegaĵo, ĝi protektas kamermurojn kaj strukturajn komponantojn de:
● Plasmo-malkovro
● Kemiaj reakcioj
● Amasiĝo de deponejo
Tio reduktas bontenadokostojn kaj plilongigas la vivdaŭron de multekosta kamera aparataro.
Plibonigo de Plasma Stabileco
Provizante stabilan dielektrikan surfacon en la supra ĉambro, la kvarca tegaĵo helpas:
● Konservu koherajn plasmolimojn
● Redukti elektrajn perturbojn
● Plibonigu procezan ripeteblon
Poluado kaj Partikla Kontrolo
La tegaĵo kaptas procezajn kromproduktojn kaj minimumigas partiklan generadon, helpante al:
● Konservu purecon de la ĉambro
● Redukti difekto-oftecojn
● Plibonigu la rendimenton de la oblato
niaj Servoj
Semixlab Produkta Butiko
