EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Duonkondukta kvarca bano
Rapida Detalo:
1. Aliaj nomoj: Duonkondukta kvarca tanko, kvarca bano por duonkonduktaĵoj, kvarca tanko por duonkonduktaĵoj.
2. Apliko: La Duonkondukta Kvarca Bano estas altpureca, korodorezista komponanto speciale desegnita por preciza purigado kaj kemia prilaborado en duonkondukta fabrikado. Dizajnita por kongruo kun la WS-620C/WS-820C/WS-820L sistemo, ĉi tiu kvarca bano funkcias sub altaj temperaturaj kondiĉoj (ĝis 175 °C) kaj estas optimumigita por uzo kun solvaĵoj de fosforacido (H₃PO₄), certigante esceptan rendimenton en kritikaj procezoj por purigi obletojn.
3. Kernaj parametroj:
Fandita kvarco (>99.99% SiO₂).
Escepta kemia inerteco al H₃PO₄ (fosfora acido) je altaj temperaturoj, malhelpante degeneron aŭ partiklan generadon.
Eltenas kontinuan funkciadon je 160 °C kaj pintajn temperaturojn de 175 °C, konservante strukturan integrecon kaj dimensian stabilecon.
Priskribo
La Semikondukta Kvarca Bano estas altpureca, korodorezista komponanto speciale desegnita por preciza purigado kaj kemia prilaborado en semikondukta fabrikado. Dizajnita por kongruo kun la WS-620C/WS-820C/WS-820L sistemo, ĉi tiu kvarca bano funkcias sub altaj temperaturaj kondiĉoj (ĝis 175 °C) kaj estas optimumigita por uzo kun solvaĵoj de fosforacido (H₃PO₄), certigante esceptan rendimenton en kritikaj procezoj por purigi obletojn.
Ŝlosilo Elstaraĵoj
Materiala Supereco
Altpureca Kvarco: Fabrikita el sinteza fandita kvarco (>99.99% SiO₂), certigante minimuman poluadon kaj reziston al termika ŝoko.
Acida Rezisto
Escepta kemia inerteco al H₃PO₄ (fosfora acido) je altaj temperaturoj, malhelpante degeneron aŭ partiklan generadon.
Termika Stabileco
Eltenas kontinuan funkciadon je 160 °C kaj pintajn temperaturojn de 180 °C, konservante strukturan integrecon kaj dimensian stabilecon.
Elfaraj Profitoj
Kontrolo de Poluado: Ultra-glata surfaca finpoluro minimumigas partiklan adheron, kritikan por submikronaj duonkonduktaĵaj nodprocezoj.
Longviveco: La rezisto de kvarco al acida korodo kaj termika laceco plilongigas la servodaŭron, reduktante malfunkcitempon kaj bontenadkostojn.
Proceza Konsistenco: Stabila varmokondukteco certigas unuforman temperaturdistribuon, plibonigante purigan efikecon kaj ripeteblon.
Kial elekti la duonkonduktaĵan kvarcan banon de Semixlab?
Kvalito de duonkonduktaĵoj: Produktite en puraĉambra medio por plenumi SEMI-normojn.
Tajloritaj Solvoj: Specialaj dezajnoj haveblas por kongrui kun specifaj procezaj postuloj.
Fidindeco: Rigora kvalito-testado certigas plenumon de la postuloj de la duonkonduktaĵa industrio.
Specifoj
| Mekanika proprieto | Denso (g/cm3) | 2.2 |
| Mohs-malmoleco | 6-7 | |
| Kunprema forto (MPa) | 1100 | |
| Tirezorezisto (N/mm2) | 50 | |
| Fleksa forto (N/mm2) | 65 | |
| Torsia forto (N/mm2) | 30 | |
| Modulo de Young (MPa) | 7.2x104 | |
| Rilato de Poisson | 0.16 | |
| Termikaj proprietoj | Koeficiento de termika ekspansio (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Varmokondukteco (20℃,W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Specifa varmo (20℃, J·kg)-1k-1) | 670 | |
| Moligpunkto (℃) | 1700 | |
| Heliĝa punkto (℃) | 1180 | |
| Streĉiĝpunkto (℃) | 1080 | |
| Elektra propraĵo | Elektra rezisteco (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielektrika konstanto (10GHz) | 3.74 | |
| Dielektrika perdo (10GHz) | 0.0002 | |
| Dielektra forto (V·m)-1) | 3.7x107 |
aplikaĵoj
Purigado de obletoj: Forigo de fotorezisto, restaĵoj kaj poluaĵoj en H₃PO₄-bazitaj solvaĵoj post-gratado aŭ litografio.
Alt-Temperaturaj Procezoj: Taŭgaj por progresintaj duonkonduktaĵaj fabrikadpaŝoj postulantaj agresemajn kemiojn je altaj temperaturoj.
Kongrueco: Ideala por WS-620C/WS-820C/WS-820L sistemoj en fabrikoj produktantaj logikajn, memorajn aŭ potencajn aparatojn.
