EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Silicia Karbido Sic Pora Ceramika Disko
La Pora Ceramika Disko el Siliciokarbido (SiC) de Semixlab estas desegnita por alt-efikecaj aplikoj por prilaborado de duonkonduktaĵaj silabplatoj, kiuj postulas precizecon, purecon kaj daŭripovon. Kun kontrolita mikroporeco, supera varmokondukteco kaj kemia inerteco, ĉi tiu komponanto ludas gravan rolon en vakua ŝutado, KMP (Kemia Mekanika Polurado), epitaksio kaj silabmanipulaj sistemoj.
Priskribo
Ideala por: CMP-platformoj, MOCVD-epitaksio-reaktoroj, vaflaj transigaj moduloj, plasmo-purigaj sistemoj kaj ESC-substrataj asembleoj.
Ⅰ. Materiala Konsisto kaj Fizikaj Karakterizaĵoj
Altpureca SiC Ceramika Strukturo
Kreita el ≥99.9% ultrapuraj α-SiC aŭ β-SiC pulvoroj, ĉiu pora disko estas fabrikita per precize kontrolitaj sintrado- kaj enfiltriĝaj procezoj. La rezulto estas unuforma pora reto, kiu certigas stabilan gasfluon kaj mekanikan integrecon sub ekstremaj prilaboraj medioj.
Ŝlosilaj Teknikaj Ecoj:
| propraĵo | specifo |
| materialo | α-SiC / β-SiC |
| Pureza | ≥99.9% |
| Poreco | 10–40% (alĝustigebla) |
| Pora Grandeco | 0.1–10μm |
| Termika Konductiveco | 120–200 W/m·K |
| Maksimuma Operacia Temp | 1600-1800 ° C |
| malmoleco | Mohs 9.3 |
| Kemia Rezisto | Bonega en HF, HCl, Cl₂, H₂ |
| denseco | 2.8–3.1 g/cm³ |
Elfaraj Kulminaĵoj:
● Unuforma Vakua Permebleco: Preciza pora distribuo certigas ekvilibran gasfluon trans la surfacon de la oblato.
● Bonega Termika Stabileco: Konservas mekanikan integrecon sub alt-temperaturaj cikladoj.
● Malalta Partikla Generado: Poluritaj SiC-surfacoj minimumigas poluadriskon.
● Supera Daŭreco: Plilongigita servodaŭro eĉ en agresemaj kemiaj kaj plasmaj medioj.
Ⅱ. Oftaj Procezaj Defioj kaj Semixlab Solvoj
| defio | Radika Kaŭzo | Semixlab Solvoj |
| Neegala Vakua Suĉo | Neunuforma porgrandeco aŭ ŝtopiĝo | Kontrolita porgrandeca distribuo kaj perioda plasmopurigado |
| Partikla Poluado | Mikro-fendetoj pro termika biciklado | Apliku CVD SiC-tegaĵon por surfacfortigo |
| Termika Ne-Homogeneco | Neegala denseco aŭ poluado | Uzu alt-konduktivecan SiC (>150 W/m`K) kaj poluritajn surfacojn |
| Kemia Erozio | Longedaŭra eksponiĝo al HF aŭ Cl-bazitaj gasoj | Adoptu densan CVD SiC-hibridan sintradon por plibonigi korodreziston |
| Reduktita Mekanika Forto Tra la Tempo | Ripetata ŝarĝo de oblato | Sekundara enfiltriĝo por plibonigi frakturreziston kaj plilongigi servodaŭron |
La proprieta materiala kontrolo kaj surfaca inĝenierado de Semixlab certigas konstantan rendimenton, longdaŭran fidindecon kaj reduktitan ekipaĵan malfunkcitempon tra pluraj procezcikloj. Bonvenon konsulti nin por plia teknika konsultado kaj produktaj personigaj servoj.
aplikaĵoj
Aplikoj en Semikonduktaĵaj Procezoj
1. Vakua Ĵetado kaj Manipulado de Oblatetoj
Poraj SiC-diskoj estas vaste uzataj kiel vakuaj ĉukaj platoj aŭ subteniloj en vaflaj ŝarĝaj kaj translokigaj sistemoj. Ilia precize realigita poreco certigas unuforman vakuan suĉon, eliminante vaflajn deformadojn kaj plibonigante la precizecon de la vicigo.
2. Kemia Mekanika Polurado (KMP)
Dum CMP, la pora SiC-disko funkcias kiel portanto aŭ subtenplato, ebligante:
● Egala distribuado de ŝlimo
● Stabila subteno de obletoj
● Plibonigita ebeneco kaj difektokontrolo
Kompare kun konvencia alumino-tero aŭ kvarco, SiC ofertas pli altan malmolecon kaj varmokonduktecon, certigante pli longan vivdaŭron kaj plibonigitan procezan konstantecon.
3. Epitaksio kaj Alt-Temperatura Prilaborado
En MOCVD kaj LPE epitaksiaj reaktoroj, la SiC-pora disko funkcias kiel termika susceptor-bazo aŭ subtenplatformo, certigante:
● Unuforma varmotransigo trans la oblato
● Stabila epitaksia tavoldikeco
● Alta rezisto al reaktivaj procezaj gasoj
4. Malsekaj kaj Plasmaj Purigaj Sistemoj
Dank'al sia kemia kaj plasma korodorezisto, la pora SiC-disko funkcias efike kiel gasa difuzplato aŭ kemia filtradsubstrato en malsekaj benkoj kaj purigĉambroj.
5. Baza tavolo de ESC (Elektrostatika ĉuko)
En progresintaj oblataj stadioj, poraj SiC-ceramikaĵoj funkcias kiel termikaj bazoj por ESC-oj, kombinante bonegan varmotransigon kaj elektran izoladon por preciza oblata temperaturkontrolo.
niaj Servoj
Semixlab Produkta Butiko
