EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PZT piezoelektraj maldikfilmaj oblatoj
La piezoelektraj maldikfilmaj obleoj PZT de Semixlab servas kiel la kerna funkcia materialo por altkvalitaj MEMS-aparatoj. Utiligante progresintajn PVD (fizikan vaporan demetadon) procezojn, ni atingis polikristalan PZT-maldikfilman demetadon sur 6-colaj kaj 8-colaj normaj substratoj, karakterizitan per escepte altaj piezoelektraj konstantoj kaj supera homogeneco. Kun atom-skala plateco kaj preciza kristala orientiĝa kontrolo, niaj produktoj signife plibonigas elektromekanikan konvertan efikecon, samtempe certigante produktad-nivelan konsistencon kaj altajn rendimentojn. Ili perfekte taŭgas por pintnivelaj MEMS-aplikoj - inkluzive de akustikaj transduktiloj, precizaj mikropumpiloj kaj RF-komunikadoj - rajtigante niajn klientojn senprobleme transponti la interspacon de laboratoria esplorado kaj disvolvado ĝis grandskala amasproduktado.
Priskribo
Tipa Stako
Dizajnitaj por ĉefa MEMS-fabrikado, ni provizas normajn, tre validigitajn stakstrukturojn, kiuj certigas senjuntan integriĝon kun duonkonduktaĵaj prilaboraj linioj.
| mantelon | Kerna Funkcio | Teknikaj Trajtoj |
| Supra Elektrodo | Signala Transdono | Alta konduktiveco kaj bonega proceza stabileco uzante noblan metalon. |
| Piezoelektra Tavolo | Energio-Konvertiĝo | Alt-denseca, forte (100) orientita PZT-maldika filmo kun alta mova forto. |
| Buffer Tavolo | Kristala orientiĝo | Optimumigita interfaca energio; subpremas elementan difuzon; plibonigas feroelektran lacecreziston. |
| Malsupra Elektrodo | Alt-Fidinda Bazo | Altvalora nobla metala elektrodo certiganta longdaŭran elektran stabilecon. |
| Adhera Tavolo | Ligado kaj Konekto | Plibonigas la mekanikan adheron inter la elektrodo kaj la substrato. |
| Substrato (Si/SOI) | Struktura Subteno | Plene kongrua kun 8-colaj normaj Siliciaj (Si) aŭ SOI platformoj. |
Adaptado kaj Fandejaj Servoj
Tajloritaj Solvoj por Alt-Efikecaj Piezoelektraj Aplikoj
niaj Servoj
● Specialaj Maldikaj Filmoj: Specifaj filmtipoj kaj preciza dikeco-agordado.
● OEM-fandejo: Altkvalita kresko sur klient-liveritaj oblatoj.
● SOI-Integriĝo: Specialigita deponado por progresinta RF/MEMS.
Specifoj
| parametro | specifo |
| Oblata Grandeco | 6-cola / 8-colo |
| Supra Si Rezistiveco | > 5,000 Ω`cm |
| Dopanto kaj Dikeco | Personigebla laŭ dezajno |
| SKATOLA Tavolo | Subteno por diversaj dikecoj |
aplikaĵoj
Niaj 8-colaj PZT-piezoelektraj oblatoj estas konstruitaj por plenumi altprecizajn postulojn tra diversaj industrioj, servante kiel la bazŝtono por efika elektromekanika konvertado:
● Akustika kaj Komunikada Novigado: Ideala por Piezoelektraj Mikromaŝinitaj Ultrasonaj Transduktiloj (pMUT) kaj Akustikaj MEMS (ekz., alt-efikecaj laŭtparoliloj kaj mikrofonoj). Kun supera sentiveco kaj fazkonsekvenco, niaj oblatoj ebligas pli klaran aŭdion kaj alt-precizan ultrasonan bildigon. Krome, altaj Q-faktoro-karakterizaĵoj perfekte taŭgas por RF MEMS-filtriloj por 5G/6G signalprilaborado.
● Preciza Fluidikaĵo kaj Nano-Aktuado: Por Inkŝprucaj Preskapoj kaj preciza fluida kontrolo, niaj altaj piezoelektraj koeficientoj certigas altfrekvencan stabilecon kaj guto-volumenan konsistencon. En Medicinaj/Estetikaj Mikropumpiloj kaj Atomigo, bonega lacecrezisto garantias precizan flukontrolon dum longdaŭra funkciado.
● Industria kaj Medicina Fidindeco: De mikroskala moviĝkapto ĝis alt-energia ultrasona nebuligo, niaj PZT-solvoj provizas stabilan potencon, helpante klientojn superi la grandecon kaj efikecajn proplempunktojn de tradiciaj elektromagnetaj transmisiiloj.
konkurenciva Avantaĝo
Bonega Elektromekanika Konverta Efikeco
Bazita sur altnivela tekstura orientiĝa kontroloteknologio, la maldika filmo havas ultra-altan efikan piezoelektran koeficienton e31,f. Kiel la kerna energifonto por MEMS-aktuatoroj, ĝi ebligas altfrekvencan, granddelokiĝan deformadan eliron ĉe ekstreme malaltaj tensioj.
Amasprodukta Grado Proceza Homogeneco
Atomnivela filmformacia kontrolteknologio certigas, ke la dikecohomogeneco de 8-colaj plen-platetaj maldikaj filmoj atingas industriajn komparnormajn nivelojn. Subnanometra surfaca malglateco perfekte plenumas la prilaborajn postulojn de precizaj akustikaj kaj optikaj mikrostrukturoj.
Strikta Kvalito kaj Fidindeco
Ultramalalta denseco de difektoj kaj supera partikla kontrolo signife plibonigas la rendimenton de strukturado en posta mikro-nanofabrikado. Optimumigita plurtavola stakstrukturo kaj dediĉita bufrotavola dezajno efike subpremas feroelektran lacecon, certigante longdaŭran stabilecon de aparatoj sub kompleksaj funkciaj kondiĉoj.
