Malhelpado de Poluado en Stokado de Altpurecaj CVD-Tegitaj Partoj

La problemo de produktado de pura Alta pureca CVD SiC kruda materialo partojn, kaj teni ilin puraj de la fabrikado ĝis la instalado en epitaksiosistemo, ankaŭ estas signifa. Nesignifa kvanto da polvo kaj poluado, kiu akumuliĝas dum stokado, povas rezultigi difektojn sur la oblatoj, kaj malpliigi la rendimenton dum produktado kiam la sistemo ekfunkcias. Ofte, problemoj originas de la stokado, ne de la fabrikada procezo mem. Kiel ekzemplo de stokada poluado, inĝenieroj rimarkis, ke la purigitaj susceptorpartoj estis poluitaj dum stokado apud malfermita pordo de la laborejo; malstabileco dum produktado okazis kiam la ekipaĵo estis reaktivigita.

Normoj pri Enpakado de Puraj Ĉambroj por CVD SiC kaj CVD TaC-Tegaĵoj

La ĝusta pakado de alta pureco CVD-sic-tegaĵo or CVD TaC tegitaj partoj estas pli ol nur preventi fizikan difekton; ĝi estas protekti la puran surfacon atingitan dum tegado. Spuraj partikloj, kiujn la okulo ne povas vidi, povas negative influi la kvaliton de la oblato dum epitaksio.

La unua paŝo de iu ajn paka proceduro devus okazi en pura ĉambro, kiu havas pozitivan premon, kaj puran medion konservatan per alt-efikecaj aerfiltriloj. Purĉambraj vestaĵoj ĉiam estu portataj, inkluzive de maskoj, kaj senpudraj gantoj devas esti portataj ĉiam por eviti transdoni haŭtajn partiklojn, polvon aŭ fibrojn al la komponantoj.

Materialoj uzataj por pakado ankaŭ estas kritikaj. Tipe du tavoloj de plastaj sakoj por pura ĉambro estos uzataj por duobligi la protekton de komponantoj; tamen, por ekstreme delikataj partoj, vakua aŭ nitrogena pakado povas esti uzata por plue minimumigi kaj humidon kaj atmosferajn poluaĵojn. La protekta ŝaŭmo uzata ankaŭ devus esti konstruita el pura ĉambro-sekura, malalt-gasa materialo por eviti, ke iuj pliaj poluaĵoj liberiĝu de la stokado al la komponanto.

Post sigeliĝo, la komponantoj estu forigitaj el la pakmedio nur en la pura ĉambro, kaj ne en malferma laborejo. Malfermi troe pakitan komponanton povas repoluigi ĝin ĝis punkto, kie la komponanto devas esti repurigita.

Per ĝusta pakado, komponantoj restos puraj por uzo en produktado.

Ĝustaj Manipulaj Metodoj por Altpurecaj Grafitaj Epitaksiaj Partoj

Kvankam la altpurecaj grafitaj partoj aspektas tre daŭremaj, ili emas kapti malpuraĵon, oleon kaj humidon sur sia surfaco. Ĉi tiuj poluaĵoj povas resti nerimarkitaj dum la tuta vivdaŭro de la partoj, sed povas influi epitaksion en pli postaj stadioj.

Manipulado de partoj devas ĉiam esti farita portante senpudrajn, purajn nitrilajn gantojn. Nudaj manoj neniam devas kontakti iujn ajn partojn, ĉar haŭtaj oleoj algluiĝos al la surfaco de la parto en tre etaj kvantoj kaj povas esti malfacile forigeblaj de la surfaco poste.

Pecoj ankaŭ estu manipulitaj zorge. Simple levi ilin de tablo per iliaj randoj povas lasi mikroskopajn fendetojn en la parto, kiuj eble ne tuj videblas, sed povas aperi post kelkaj cikloj de varmigo, kaj kvankam vi ne ĉiam povas vidi ilin, povas esti partikloj generitaj ene de la reaktoro.

Vi ankaŭ devus esti en medio taŭga kaj pura por la specifa apliko. Se partoj estas manipulataj kaj lasitaj sur la labortablo, vi ne rajtas permesi al ili sidi sur metala tablo, kartono aŭ kruda plasta surfaco, ĉar ĉi tiuj povas verŝi polvon kaj fibrojn sur la parton.

La aerfluo ankaŭ estu konsiderata dum manipulado de partoj. Polvo blovita sur la parton de ventolilo, aŭ se pordo estas malfermita, povas akumuliĝi sur la partoj, kaj tial multaj instalaĵoj plenumas siajn partmanipuladajn operaciojn sub lamena fluobenko aŭ en pura areo.

Riskoj de Humido kaj Oksidado Dum Longtempa Stokado de Komponantoj

Kvankam la partoj (kiuj estis faritaj el altpureca grafito) ŝajnis esti de tre alta kvalito, estas relative facile kapti malpuraĵon, oleon kaj humidon sur la surfacon de la partoj kaj resti nerimarkeblaj dum la tuta vivdaŭro de la partoj, sed influi la epitaksion en pli posta stadio.

Ĉiam manipulado de partoj devas esti farita per senpudraj, puraj, nitrilaj gantoj. La partoj neniam estu tuŝataj per nudaj manoj, ĉar haŭtaj oleoj algluiĝos al la surfaco de la parto en tre etaj kvantoj, kaj estas ekstreme malfacile forigeblaj poste.

Ankaŭ partoj ĉiam devas esti manipulitaj kun granda zorgo. Eĉ nur preni partojn de la labortablon de la randoj povus rezultigi mikroskopajn fendetojn en la parto, kiuj ne estus videblaj ĝis la parto trapasis kelkajn termikaj ciklojn, kaj kvankam vi ne povus vidi la fendetojn, ĝi povus rezultigi la produktadon de partikloj ene de la reaktoro.

Ankaŭ vi devus provi esti en taŭga, pura medio por la koncerna apliko. Manipulado kaj lasado de la partoj kuŝantaj sur la labortablon estas akcepteblaj nur se ili ne estas lasitaj sur metala labortablo, kartono aŭ nepreparita plasta surfaco, ĉar polvoeroj falos sur la parton.

Aerfluo ankaŭ devas esti konsiderata, ĉar polvopartikloj blovitaj sur la parton per la ventolilo, aŭ de ekstere pro malfermita pordo, povus alkroĉiĝi al la parto, kaj tial multaj kompanioj uzas lamenfluajn benkojn aŭ puran ĉambron por plenumi ĉi tiujn partmanipulajn procezojn.

Transporta Protekto por Grandaj Susceptoroj kaj Gasaj Flosantaj Diskoj

Grandaj susceptoroj kaj gasaj flosantaj diskoj, kvankam ili estas grandaj komponantoj, tamen povas esti difektitaj dum transportado se ili ne estas ĝuste subtenataj.

La plimulto de transportaj damaĝoj venas de vibrado kaj neegala premo kontraste al granda akcidento. La grandaj komponantoj devas esti plene subtenataj en la transportujo, kaj ajna kliniĝo aŭ eĉ premo al unu flanko dum plilongigita vojaĝado povas kaŭzi misformiĝon de la komponanto, kio estos damaĝa al la reaktoro.

Por protekti la grandajn partojn, ili devas esti plene subtenataj per pura pakmaterialo por distribui la ŝarĝon tra la tuta komponento ene de la kesto kaj pakitaj por absorbi vibradon.

Ankaŭ protekto kontraŭ humideco devas esti konsiderata. Per inkluzivado de sigelitaj internaj saketoj kaj sekigilo oni povas eviti la amasiĝon de kondensado dum la procezo de pakado, malpakado kaj sendo.

Lignokestoj ankaŭ devus esti movataj per ĉareloj kaj levantaj ekipaĵoj, restante relative ebenaj kaj ankaŭ konservante premon sur la lignokesto por ne ŝovi la internan ŝarĝon dum la transportfazo.

Normoj por Alvenantaj Inspektadoj Antaŭ la Instalo de Epitaksiaj Reaktoroj

La lasta ŝanco kapti problemojn kun parto antaŭ ol meti ĝin en epitaksian reaktoron estas kiam la parto estas ricevita.

Kvankam parto aspektas pura post stokado kaj sendo, povus ankoraŭ esti poluaĵoj aŭ malgrandaj difektoj, kiuj eble ne estos malkovritaj ĝis la reaktoro estas varma.

La inspektado okazu en pura areo, kie pakaĵoj povas esti malfermitaj sen krei polvon. La parto tiam povas esti rigardata atente sub forta lumo por serĉi difektojn, miskolorigon, ĉizitajn angulojn aŭ difektitajn tegaĵojn.

Grandaj komponantoj kiel gasaj flosantaj diskoj kaj susceptoroj ankaŭ devas esti inspektitaj por plateco kaj ĝustaj dimensioj, ĉar malgrandaj ŝanĝoj al ambaŭ povas kaŭzi problemojn pri funkciado. Multaj instalaĵoj ankaŭ kontrolos la purecon de la surfaco, tuj antaŭ ol meti la parton en la reaktoron.

Havi detalajn registrojn por ĉiu parto, inkluzive de seriaj numeroj kaj bildoj, ankaŭ povas esti granda helpo kiam parto fine paneas aŭ kaŭzas problemojn poste.

Detala alven-inspektado ne nur implicas rifuzi akcepti difektajn partojn. Ĝi permesas al la inĝeniero trovi negravajn problemojn antaŭ ol ili fariĝas produktadaj problemoj, permesante pli bonan procezan stabilecon, malpli da neatenditaj paneoj kaj pli altan rendimenton de la oblato.