Altpurecaj PECVD-grafitboatoj

Produkta Superrigardo

PECVD-grafitboatoj estas vaste uzataj en sunĉelaj fabrikadlinioj, kie siliciaj obletoj bezonas plurfoje trairi plasmo-tegaĵojn kaj pasivigajn procezojn. Ĉar la grafita portanto rekte kontaktas la obletojn dum ŝarĝado, translokigo kaj deponado, ĝia stabileco havas fortan influon sur poluadkontrolon kaj fidindecon de aŭtomatigo.

Grafitaj ŝipoj de Semixlab estas prilaboritaj el purigitaj grafitaj materialoj kun malalta cindroenhavo kaj stabila denseca distribuo. La strukturo estas desegnita laŭ la praktikaj funkciaj kondiĉoj troveblaj en kontinuaj produktadlinioj, precipe kie rapidaj temperaturŝanĝoj kaj altfrekvenca robota manipulado estas oftaj.

En fakta uzo, multaj fabrikoj atentas ne nur purecon, sed ankaŭ deformiĝon post longaj produktadcikloj. Ŝarĝaŭto, kiu fleksiĝas aŭ ŝanĝas formon tro rapide, povas facile kaŭzi problemojn pri translokigo, skrapadon de la sigelo aŭ malstabilajn ŝarĝpoziciojn. Por redukti ĉi tiujn riskojn, la grafitaj ŝipetoj estas desegnitaj kun relative malaltaj termikaj ekspansiaj karakterizaĵoj kaj plibonigita mekanika konsistenco.

Malsamaj grandecoj de obletoj kaj aŭtomatigaj konfiguracioj ankaŭ povas esti subtenataj laŭ la bezonoj de la klienta ekipaĵo. La produkto estas ofte uzata por TOPCon, HJT, PERC, kaj rilataj PECVD-produktadmedioj.

Ŝlosilo Elstaraĵoj

Purigita grafita materialo kun cindroenhavo sub 20 ppm.

Stabila strukturo sub ripetaj varmigaj kaj malvarmigaj cikloj.

Pli malalta termika ekspansio kompare kun konvenciaj grafitaj portantoj.

Taŭga por aŭtomataj sistemoj por ŝarĝi vaflajn.

Reduktita deformado dum longdaŭra operacio de plasma procezo.

Kongrua kun platformoj por produktado de vaflaj M10 kaj M12.

Maŝinprilaborita fendostrukturo helpas plibonigi translokigan stabilecon.

Havebla por personecigitaj dimensioj kaj interspacoj inter tonaltoj.

Produktado kaj Materialaj Notoj

La grafitaj materialoj uzataj por ĉi tiuj transportsistemoj povas esti elektitaj laŭ la procezkondiĉoj kaj atendata servociklo de la kliento. Depende de la aplika medio, oni povas konsideri importitajn grafitajn gradojn aŭ hejmajn purigitajn materialojn.

Semixlab ankaŭ subtenas maŝinadan alĝustigon bazitan sur diversaj aŭtomatigaj platformoj, inkluzive de fendinterspaco, gvidstrukturo, ŝarĝorientiĝo kaj muntada agordo. Antaŭ amasproduktado, dimensia konfirmo kaj prilabora taksado kutime efektivigas laŭ la klientaj desegnaĵoj aŭ specimenaj postuloj.

Teknikaj Specifoj