SiC Ceramiko

SiC-ceramikaĵoj estas pli kaj pli uzataj en duonkonduktaĵaj ekipaĵoj, ĉefe ĉar ili pli bone tenas sin en pli malfacilaj kondiĉoj. Kiam la temperaturo altiĝas aŭ la procezo fariĝas pli agresema, materialoj kiel kvarco aŭ silicio povas komenci montri limojn, kaj tie kutime SiC eniras rolon. En fornaj procezoj kiel oksidado aŭ difuzo, partoj kiel vaflaj boatoj aŭ padeloj faritaj el SiC emas daŭri pli longe. Ili konservas sian formon kaj ne alportas multan poluadon, eĉ post longaj cikloj. Homoj ofte ŝanĝas de kvarco pro ĉi tiu kialo, precipe kiam prizorgado fariĝas tro ofta.

Por gravurado, SiC ofte estas elektita simple ĉar ĝi pli longe postvivas plasmon. La diferenco en vivdaŭro kompare kun siliciaj partoj estas rimarkebla en multaj aranĝoj, kvankam ĝi ankoraŭ dependas de la preciza procezo. Ĝi ankaŭ iom helpas kun partikla kontrolo, kiu fariĝas pli sentema kiam nodoj ŝrumpas. Vi ankaŭ vidos SiC uzatan kiel susceptorojn en MOCVD aŭ CVD. En tiuj kazoj, temas malpli pri "forto" kaj pli pri konservado de stabila temperaturkonduto. Krom tio, ĝi aperas en ĉambraj partoj kiel tegaĵoj aŭ duŝkapoj, kaj foje ankaŭ en manipulado de komponantoj.